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日本小金井FRL終端過濾器減壓閥

更新時間：2024-10-23

簡要描述：

內(nèi)載線過濾器PLF系列

●采用多孔中空絲膜濾芯，保證了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。
●過濾精度高、小型流量大、壽命長
●是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器

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內(nèi)載線過濾器PLF系列

●采用多孔中空絲膜濾芯，保證了同樣情況下平膜小芯10倍以上的接觸面積。
●過濾精度高、小型流量大、壽命長
●是適合于IC制造裝置等吹氣式終端過濾器

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.01μm	50～100 l/min	M5.Rc1/8

凈化管路過濾器CLF系列

●濾芯是PTFE制膜和PTFE制不織布構(gòu)成的雙重構(gòu)造確保了本產(chǎn)品的安定的性能。可以100%地捕捉0.01μm的微粒子
●使用的部件在無塵清潔室里進行了精密清洗。附著的微粒子極少，能立即投入使用。

過濾精度	處理空氣量	配管連接口徑
0.01μm	100 l/min	Rc1/8.Rc1/4

不銹鋼調(diào)壓閥RS系列

●于液晶、半導體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中的攜帶氣體壓力控制、噴氣壓力控制、凈化空氣、天然氣體壓力控制等，還有需要耐腐蝕性的食品相關(guān)工業(yè)及無需潤滑油、機油的生產(chǎn)線。

壓力設(shè)定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.05～0.7	0～ 800 l/min	M5～Rc1/4

精密不銹鋼調(diào)壓閥PRS系列

●于液晶、半導體相關(guān)工序中的各種溶劑、純水線路中的攜帶氣體壓力控制、噴氣壓力控制、凈化空氣、天然氣體壓力控制等，能進行高精度的設(shè)定（感度0.001MPa）

壓力設(shè)定 MPa	處理空氣量	配管連接口徑
0.01～0.25	0～ 250 l/min	M5～Rc1/4

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